Конструктивно-технологические особенности изготовления СВЧ GaAs монолитной интегральной схемы усилителя с медной металлизацией лицевой стороны
Представлены конструктивно-технологические решения по формированию GaAs СВЧ монолитной интегральной схемы (МИС) с металлизацией лицевой стороны на основе меди. В качестве металлизации омических и затворных контактов транзисторов с высокой подвижностью...